S wide 是专用系统，适用于快速测量大样品区域，测量面积最高可达 300 x 300 mm。它具有集成了数字显微镜的高分辨率测量仪器的所有优点。一键式采集功能，易于使用。

整个拼接扩展区域都拥有亚微米高度重复性。

 

可追溯性

我们的所有系统精心制造，提供准确、可追溯的测量。系统按照符合ISO 25178第 7 部分关于下列参数的指南的可追溯标准进行校准：Z 放大系数、XY 横向尺寸、平面度误差以及偏心度。