
在当今高科技领域,从半导体芯片到生物医学设备,即使小如病毒的缺陷也可能引发严重后果。幸运的是,一种名为干涉测量的高精度技术,正凭借其“火眼金睛”的能力,让这些微小瑕疵无所遁形。今天,我们将深入探讨这一技术,并介绍Sensofar S neox 3D光学轮廓仪在这一领域的卓越应用。
干涉测量的应用范围极广。在半导体和光学行业,它能够识别芯片或透镜中比病毒更小的缺陷,确保产品可靠性;在天文学中,通过结合多台望远镜的光线,科学家能以超高分辨率观测遥远星系;在生物学领域,干涉测量允许对活细胞进行无损成像,无需使用染料或侵入性技术;此外,在地球观测方面,卫星利用干涉雷达(InSAR)监测毫米级的地表运动,用于地质灾害预警。

薄膜表面的二维图像

使用100倍干涉镜头
测量薄膜的三维轮廓图

值得一提的是,干涉测量的非接触特性使其特别适合检测脆弱或微结构表面,同时它还是光学计算等新兴技术的基础,助力数据以光速处理。在这其中,Sensofar的S neox 3D光学轮廓仪表现突出。该设备利用干涉测量原理,可精准捕捉薄膜表面的纳米级缺陷,例如由颗粒划伤导致的瑕疵。通过100倍干涉镜头,它能生成详细的三维轮廓图,直观展示缺陷的尺寸和高度信息。


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