Sensofar平面度测量白光干涉仪 S neox 0.65X，以优秀的横向和纵向分辨率测量平面度。S neox搭配0.65X物镜，具有最大视野的物镜和最高精度的载物台，在平面度、平行度和台阶高度测量方面提供了最佳的表现。