产品简介
HP1000V-MPS Instec的真空高温探针台系列是可从外部移动 探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护 气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。
功能特点
mimi 型温控探针台，可集成到各种光学设备
可编程控温，涵盖 RT~1000℃
适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件
可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针
可从温控器或电脑软件控制，可提供软件 SDK
模块化设计，可自由组合
*可升级为 8 个独立探针
*SMA 接头转 BNC 四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于 pA 级测试
*可做定制或改动，详询上海恒商
温控参数
温度范围 30℃~1000℃
加热块材质 陶瓷
传感器/温控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪电源）
最大升温速率 50℃/min
最小温控速度 ±0.1℃/min
温度分辨率 0.1℃
温度稳定性 ±0.5℃
软件功能 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线
电学参数
探针 默认为铼钨材质的弯针探针
探针座 可从外部 XYZ 移动的探针臂
点针 从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置
探针接口 默认为 SMA 接头转 BNC *可增设腔内接线柱（样品接电引线）
样 品 台 面 电 位 默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选 三同轴接口
光学参数
适用光路 反射光路
窗片 可拆卸与更替的窗片
最小物镜工作距离 8/12 mm （可选） *截面图中 WD
上盖窗片观察 窗片范围φ45mm，最大视角±58° *截面 图中θ1
负温下窗片除霜 吹气除霜管路
结构参数
适用样品 25 mm*25mm
样品腔高 4/8 mm （可选）
探针座 可从外部 XYZ 移动的探针臂 粗调模式+微调模式，XY 粗调 20mm XY 微调行程 10mm,Z 微调 3mm
调节精度 10um
气氛控制 真空腔，也可充入保护气体
外壳冷却 可通循环水，以维持外壳温度在常温附近
台体尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg
配置列表
基本配置 真空型台式探针台、mK2000B 温控器
可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显 微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴 BNC、 台面电悬空、样品接电引线
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